2023年3月31日，日本政府宣布将限制23种半导体制造设备的出口。日本经济产业大臣表示，7月开始将对六大类23种芯片制造设备的出口加以限制，涉及芯片的清洁、沉积、光刻、蚀刻等。可能受影响的日本企业包括尼康、东京电子等十余家。

 

此次的管制规则不包括对华设备出口中的非尖端产品。从用途来看，用于运算的逻辑芯片的管制标准是10～14纳米以下的技术。

 

行业分析人士认为，尽管日本宣称并未针对任何国家，但普遍被视为是在配合美国，通过出口管制措施以遏制中国制造先进芯片的能力。

——中方表示：破坏全球产业供应链，对日本的发展也不利

 

中国驻日本大使吴江浩表示，最近美方在半导体领域要求日本、荷兰加入对华限制行列的消息传得沸沸扬扬，如果屈从美国打压，中日业界长期形成的产业链和彼此依存关系将受到巨大损害，日本半导体产业可能丧失中国这块最大市场，自身发展的可持续性也将难以保障。

 

3月31日，外交部发言人毛宁主持例行记者会时表示：全球芯片产业链供应链的形成和发展是市场规律和企业选择共同作用的结果，将经贸和科技问题政治化、工具化、武器化，人为破坏全球产业供应链的稳定，这种行为只会损人害己。Tokyo Electron在被列为管理品种的成膜设备中拥有很高的市占率，在该公司2021年度的销售额中，中国占26％。同样被认为属于管制对象的「ArF液浸曝光设备」的生成企业尼康表示，2022年度销售的5台产品中「至少有1台面向中国」。

 

《读卖新闻》认为，有很多日本半导体制造设备主要是向中国出口，所以十分担心政策对今后业绩的影响。日本丸红中国经济研究所主管铃木贵元的分析称，鉴于日本国内芯片市场需求不够强劲，政府的措施将对日本设备制造商造成打击，损害日本企业的市场发展，在监管层面上也必然会降低日本企业的竞争力。

 

作为日本最大的芯片制造设备供应商，东京电子的产品可能面临出口限制。制造半导体清洁设备的Screen Holdings公司发言人称，该公司将审查出口公告相关内容，并遵循指导。上述措施也可能打击到尼康，该公司生产用于制造高级芯片的光刻设备，预计其扫描仪产品将受到出口管制。尼康发言人表示，公司仍在研究影响，并将“按照决定的规则行事”。

 

英国《金融时报》称，限制设备出口对企业的影响范围将超出预期。此前的预估表明主要受到影响的是东京电子和尼康，但知情人士认为真正受到影响的公司至少有10家，包括Screen Holdings和爱德万。

 

——韩国的借鉴：替代方案与“国产化”突破

 

2019年7月，日本政府宣布对出口韩国的半导体工业材料加强审查和管控，并将韩国排除在贸易“白色清单”以外，具体针对出口到韩国的高纯度氟化氢、氟化聚酰亚胺，以及光刻胶等3种先进化学品，对这些化学品实施严格的出口管制。

面临进口高端电子化学品出口管制后的韩企，随即开展了国产化的尝试。2019年11月。SK Materials成立了相关材料的研发中心，成功开发出基于三氟化氮（NF3）技术的气态氟化氢原型，这给韩国半导体产业带来了很大的信心，随后SK Materials在韩国庆尚北道的荣州工厂，设置了年产量15公吨规模的生产设备。从2019年的11月到2020年6月，SK Materials一直与客户进行测试，最终实现批量生产。

 

2020年，韩国从日本进口的氟化氢金额约为938万美元，与上一年的3630万美元相比，下降了74.2%。日本在氟化氢进口总量中所占的份额从2019年的32.2%下降至12.8%。另据韩国海关的进出口贸易统计，2020年韩国进口的日本氟化氢数量为4942吨，与2019年的19835吨相比，减少了75%。

 

在日本实施出口管制后，韩国通过加快本土氟化氢产业竞争力的增强，减少了对日本的依赖。三星投资的化学品公司Soul brain通过增加高纯度氢氟酸的生产，为稳定供应链做出了贡献，SK材料也成功地量产了高纯度氟化氢气体产品。韩国贸易协会发布的数据显示，韩国从日本进口的氟化氢量自2019年6月的3026吨到8月份下降至零，并从同年12月恢复从日本进口，至793吨，但此后表现趋缓，2020年月均进口仅为400吨左右。另外，从中国台湾的氟化氢进口量尽管因日本政策而一度激增，但在2020年也同比减少了54%。

 

三星电子投资的Soul Brain宣布，已开始供应与日本企业相同水平的超高纯度氟化氢；SK Materials也已开始批量生产用于半导体制造的氟化氢。同时，应韩国政府的要求，三星和SK海力士都在部分生产过程中导入了本国产品。

 

报道指出，韩国加速氟化氢自产自销的行动让两家日本公司受到重创。数据显示，氟化氢巨头Stella Chemifa和森田化学工业（大阪）对韩国的年出口额减少约60亿日元。在截至2020年3月的财政年度中，Stella Chemifa面向半导体和液晶显示器的氟化氢出货量减少了26％。森田化学则表示，“将通过增加对韩国以外地区的供货来弥补损失的份额。”

 

光刻胶方面，尽管大多韩企以失败告终，但去年也有诸如东进半导体成功开发出EUV光刻胶等突破。此外，其他材料方面，韩国也有寻找他国供应商倾向，以硅片为例，今年1月，韩国从中、日进口硅片金额已经相当，但多以6、8英寸为主。

 

亚化咨询的研究显示，韩国因日本政府的出口管制措施加大投资研发，高端材料和设备的“国产化”进程进步明显。

 

2023年3月7日，日本政府为了解除对韩国的出口管理强化措施已启动协调。韩国政府3月6日宣布，中断在日本实施出口管理强化措施之后推动的世界贸易组织（WTO）争端解决程序。日本经济产业省鉴于这一点，宣布将在近期与韩国举行局长级对话。随着起诉的中断，双方已具备重启磋商的环境。

 

对于此次日本对中国的设备出口管制，在3月31日的华为2022年年度报告会上，华为轮值董事长徐直军表示，中国情况不太一样，“我们有大量的设备，自己也开始制造，所以日本无法达到对韩国那样的效果。” 徐直军称，“对于中国半导体产业而言，这几年不断受到制裁，但产业不会坐以待毙，肯定会自救、自立、自强，华为支持半导体产业界所有相关活动，相信中国半导体产业会在制裁中重生，真正实现自立、自强。”

 

——潜在影响与分析

 

此外，有业内人士也担心，日本的下一步是什么？会不会对日本在全球更具产业优势地位的半导体硅片和电子化学品也实施出口管制？又将带来哪些影响？

 

亚化咨询认为，如果日本对出口到中国的先进设备与材料实施管制，可能会有以下影响：

 

首先，对日本的相关出口行业产生负面影响，尤其是那些依赖中国市场的企业。特别是在短期内可能会导致这些企业的销售额和利润下降。数据显示，2022年第四季度，日本对中国的此类设备出口额同比下降16%，而美国下降50%，荷兰下降44%，已出现明显下滑。

 

其次，如果不能从日本获得必要的材料和技术，短期内中国的半导体晶圆制造企业可能会有短暂的不利影响，这可能会导致部分中国半导体生产线产能和产量减少，同时在先进制程上的突破进一步放缓。

 

但中长期来看，如果中国无法从日本获得必要的半导体设备和材料，会加速发展本国的相关产业，以国家大基金为代表的资本会不断投入相关企业，从而弥补日本进口减少的那部分，最终更快实现替代方案与“国产化”突破。

 

晶圆制造是当今工业制造皇冠上的明珠，高纯度湿电子化学品是晶圆制造过程中清洗、光刻、蚀刻等工艺流程的必备材料，也应用于后端的封装测试环节。SEMI预计2022年中国半导体用湿电子化学品市场规模为4.28亿美元，同比增长14.13%。

 

电子气体是半导体制造、显示制造等产业的主要耗材之一，是中国战略性新兴产业发展中必不可少的关键支持材料。近年来中国本土气体企业如派瑞特气、华特气体、南大光电等的部分产品已经进入国内外先进晶圆厂中。SEMI预计2022年国内电子气体市场规模可达11.13亿美元，同比增长14.15%。

 

未来三年将是中国半导体制造产业高速发展期，中芯国际、华虹宏力、长江存储、长鑫存储等企业加速扩产，格科微、鼎泰匠芯、华润微等企业布局的多条8/12英寸晶圆生产线也将陆续投产，这将带动国内高于全球湿电子化学品与电子气体的需求增速。半导体电子化学品及气体将迎来空前发展机遇。

 

此外，清洗与抛光、湿法刻蚀及光刻显影、去胶等步骤需要湿法制程设备。以半导体清洗设备为例，根据亚化咨询预测，2025年全球市场将达近41亿美元，此外，清洗设备的国产化率仅在20%左右。未来国内湿制程设备将迎来广阔机遇。